I. மூலப்பொருள் திரையிடல் மற்றும் முன் சிகிச்சை உகப்பாக்கம்
- உயர்-துல்லிய தாது தரப்படுத்தல்: ஆழமான கற்றல் அடிப்படையிலான பட அங்கீகார அமைப்புகள் தாதுக்களின் இயற்பியல் பண்புகளை (எ.கா., துகள் அளவு, நிறம், அமைப்பு) நிகழ்நேரத்தில் பகுப்பாய்வு செய்கின்றன, கைமுறை வரிசைப்படுத்தலுடன் ஒப்பிடும்போது 80% க்கும் அதிகமான பிழை குறைப்பை அடைகின்றன.
- உயர்-செயல்திறன் பொருள் திரையிடல்: மில்லியன் கணக்கான பொருள் சேர்க்கைகளிலிருந்து உயர்-தூய்மை வேட்பாளர்களை விரைவாக அடையாளம் காண AI இயந்திர கற்றல் வழிமுறைகளைப் பயன்படுத்துகிறது. எடுத்துக்காட்டாக, லித்தியம்-அயன் பேட்டரி எலக்ட்ரோலைட் மேம்பாட்டில், பாரம்பரிய முறைகளுடன் ஒப்பிடும்போது திரையிடல் செயல்திறன் அளவு வரிசைகளில் அதிகரிக்கிறது.
II. செயல்முறை அளவுருக்களின் டைனமிக் சரிசெய்தல்
- முக்கிய அளவுரு உகப்பாக்கம்: குறைக்கடத்தி வேஃபர் வேதியியல் நீராவி படிவு (CVD) இல், AI மாதிரிகள் வெப்பநிலை மற்றும் வாயு ஓட்டம் போன்ற அளவுருக்களை நிகழ்நேரத்தில் கண்காணித்து, தூய்மையற்ற எச்சங்களை 22% குறைக்கவும், மகசூலை 18% மேம்படுத்தவும் செயல்முறை நிலைமைகளை மாறும் வகையில் சரிசெய்கின்றன.
- பல செயல்முறை கூட்டு கட்டுப்பாடு: மூடிய-லூப் பின்னூட்ட அமைப்புகள், தொகுப்பு பாதைகள் மற்றும் எதிர்வினை நிலைமைகளை மேம்படுத்த, AI கணிப்புகளுடன் சோதனைத் தரவை ஒருங்கிணைத்து, சுத்திகரிப்பு ஆற்றல் நுகர்வை 30% க்கும் அதிகமாகக் குறைக்கின்றன.
III. அறிவார்ந்த மாசு கண்டறிதல் மற்றும் தரக் கட்டுப்பாடு
- நுண்ணிய குறைபாடு அடையாளம் காணல்: உயர் தெளிவுத்திறன் கொண்ட இமேஜிங்குடன் இணைந்து கணினி பார்வை, பொருட்களுக்குள் நானோ அளவிலான விரிசல்கள் அல்லது அசுத்த பரவல்களைக் கண்டறிந்து, 99.5% துல்லியத்தை அடைகிறது மற்றும் சுத்திகரிப்புக்குப் பிந்தைய செயல்திறன் சிதைவைத் தடுக்கிறது 8 .
- நிறமாலை தரவு பகுப்பாய்வு: AI வழிமுறைகள், எக்ஸ்-ரே டிஃப்ராஃப்ரக்ஷன் (XRD) அல்லது ராமன் ஸ்பெக்ட்ரோஸ்கோபி தரவை தானாகவே விளக்கி, அசுத்த வகைகள் மற்றும் செறிவுகளை விரைவாக அடையாளம் கண்டு, இலக்கு சுத்திகரிப்பு உத்திகளை வழிநடத்துகின்றன.
IV. செயல்முறை ஆட்டோமேஷன் மற்றும் செயல்திறன் மேம்பாடு
- ரோபோ உதவியுடன் கூடிய பரிசோதனை: நுண்ணறிவு ரோபோ அமைப்புகள் மீண்டும் மீண்டும் செய்யும் பணிகளை தானியங்குபடுத்துகின்றன (எ.கா., தீர்வு தயாரித்தல், மையவிலக்கு), கைமுறை தலையீட்டை 60% குறைத்து செயல்பாட்டு பிழைகளைக் குறைக்கின்றன.
- உயர்-செயல்திறன் பரிசோதனை: AI-இயக்கப்படும் தானியங்கி தளங்கள் நூற்றுக்கணக்கான சுத்திகரிப்பு சோதனைகளை இணையாகச் செயலாக்குகின்றன, உகந்த செயல்முறை சேர்க்கைகளை அடையாளம் காண்பதை துரிதப்படுத்துகின்றன மற்றும் R&D சுழற்சிகளை மாதங்களிலிருந்து வாரங்களாகக் குறைக்கின்றன.
V. தரவு சார்ந்த முடிவெடுத்தல் மற்றும் பல-அளவிலான உகப்பாக்கம்
- பல மூல தரவு ஒருங்கிணைப்பு: பொருள் கலவை, செயல்முறை அளவுருக்கள் மற்றும் செயல்திறன் தரவுகளை இணைப்பதன் மூலம், AI சுத்திகரிப்பு விளைவுகளுக்கான முன்கணிப்பு மாதிரிகளை உருவாக்குகிறது, இது ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாட்டிற்கான வெற்றி விகிதங்களை 40% க்கும் அதிகமாக அதிகரிக்கிறது.
- அணு-நிலை கட்டமைப்பு உருவகப்படுத்துதல்: சுத்திகரிப்பு போது அணு இடம்பெயர்வு பாதைகளை கணிக்க அடர்த்தி செயல்பாட்டுக் கோட்பாடு (DFT) கணக்கீடுகளை AI ஒருங்கிணைக்கிறது, இது லேட்டிஸ் குறைபாடு பழுதுபார்க்கும் உத்திகளை வழிநடத்துகிறது.
வழக்கு ஆய்வு ஒப்பீடு
காட்சி | பாரம்பரிய முறை வரம்புகள் | AI தீர்வு | செயல்திறன் மேம்பாடு |
உலோக சுத்திகரிப்பு | கைமுறை தூய்மை மதிப்பீட்டை நம்பியிருத்தல் | ஸ்பெக்ட்ரல் + AI நிகழ்நேர மாசு கண்காணிப்பு | தூய்மை இணக்க விகிதம்: 82% → 98% |
குறைக்கடத்தி சுத்திகரிப்பு | தாமதமான அளவுரு சரிசெய்தல்கள் | டைனமிக் அளவுரு உகப்பாக்க அமைப்பு | தொகுதி செயலாக்க நேரம் 25% குறைக்கப்பட்டது |
நானோ பொருள் தொகுப்பு | சீரற்ற துகள் அளவு பரவல் | ML-கட்டுப்படுத்தப்பட்ட தொகுப்பு நிலைமைகள் | துகள் சீரான தன்மை 50% மேம்பட்டது. |
இந்த அணுகுமுறைகள் மூலம், AI, பொருள் சுத்திகரிப்புக்கான ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாட்டு முன்னுதாரணத்தை மறுவடிவமைப்பது மட்டுமல்லாமல், தொழில்துறையை நோக்கி இயக்குகிறது.அறிவார்ந்த மற்றும் நிலையான வளர்ச்சி
இடுகை நேரம்: மார்ச்-28-2025